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芯明天壓電納米探針臺

更新時間: 2024-05-21

芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅動的壓電馬達和探針組成,在新材料、新能源、半導體、生物醫藥、基礎科研等前沿領域中具有廣泛的應用,主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運動操作,可在三維空間上實現精準定位。隨著分析儀器技術的高端化發展,以及不斷拓寬的應用場景,壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。

芯明天壓電納米探針臺的運動形式是多樣化的,可任意選擇納米探針臺的運動維度、運動方向、運動范圍、運動精度、探針模組數量、探針夾具類型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個探針模組的納米探針臺系統。

芯明天壓電納米探針臺

 

芯明天壓電納米探針臺

此款芯明天壓電納米探針臺具有中心探針臺,并搭配4個納米探針臺模組。產品外觀如下圖所示。

 

芯明天壓電納米探針臺

 

 

中心探針臺,可進行XYZ三軸運動,XY向運動行程≥20mm,Z向運動行程≥20μm,可在低溫真空環境下使用,使用溫度范圍在0℃到60℃,使用真空度可達到10^-4Pa。四個探針模組可進行XYZ直線及R旋轉運動,XY方向行程≥5mm,Z向行程≥0.5mm,探針的R向旋轉達180°。

芯明天壓電納米探針臺

產品特點

 

 

 

每個探針擁有7個運動維度

毫米運動與微米運動相結合

毫米行程達≥20mm

高精度可達≤2nm

使用溫度范圍達0℃到60℃

真空環境使用條件達10^-4Pa,可定制

運動軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制

 

產品應用    

半導體行業、電學性能測試分析、材料、新能源、物理學、生物醫學及其他等。 


技術參數

納米探針臺
參數值
運動自由度
X、Y、Z
行程
X、Y軸≥20mm,
Z軸≥20μm
速度
10mm/s
分辨率
Z軸≤2nm
納米探針模組
參數值
運動自由度
X、Y、Z三維直線及R軸旋轉
行程
X、Y軸≥5mm
Z軸≥0.5mm
R軸180°
定位分辨率
≤100nm
掃描分辨率
≤2nm
工作環境
參數值
工作溫度
0℃到60℃
真空度
10^-4Pa

 

配套控制器        

 

E53.D1E系列壓電控制器適用于驅動芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器,采用數字控制,可閉環伺服或開環控制,外觀體積非常小巧,尺寸僅為105×103×30.1mm^3,非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。

芯明天壓電納米探針臺

 

 

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