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P83.X一維X向壓電宏微復合臺 $nP83為標準測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節。《查看更多》
P84.X一維X軸壓電宏微復合臺: P84為標準測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節。《查看更多》
壓電平臺是采用壓電陶瓷驅動的納米定位臺,無摩擦、無空回柔性導向機構,有限元分析優化柔性鉸鏈機構,柔性導向系統具有超高的導向精度,高剛度,高負載,無磨損,免維護的特點,內置精密位移傳感器進行全閉環反饋,確保了平臺具有良好的控制精度、定位精度、分辨率和穩定性,響應速度快,穩定時間達毫秒量級,平臺無磁性也不受磁場干擾。XP-630,采用壓電陶瓷直驅結構,無摩擦柔性鉸鏈機構設計的一維壓《查看更多》
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